Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов
Сейдман Л.А.年:
1988
出版社:
Электроника
言語:
russian
ファイル:
DJVU, 1.74 MB
IPFS:
,
russian, 1988