MEMS mechanical sensors
Stephen Beeby, et al年:
2004
出版社:
Artech House
言語:
english
ページ:
281
ISBN 10:
1580538738
ISBN 13:
9781580538732
シリーズ:
Microelectromechanical systems series
ファイル:
PDF, 4.06 MB
IPFS:
,
english, 2004